Assing Scientific InstrumentsAssing Scientific Instruments
search
westIndietro
westIndietro
Evactron Zephyr Series

Evactron Zephyr Series

Flexible De-Contaminators for all SEMs and FIBs

305

Evactron Zephyr Series

Evactron Zephyr Series

Flexible De-Contaminators for all SEMs and FIBs

305

Richiedi informazioni

Dual vacuum mode – TMP or roughing pump for in-situ cleaning of chambers and specimens in electron microscopes and vacuum chambers

For all your cleaning needs, the Evactron Zephyr includes a RF Plasma Radical Source (PRS), Table Top Controller/RF Generator with Automatic Pressure/RF Level Control, RS232 Computer Interface, Solid-state Micropirani Gauge, Cables, Instructions, and five-year limited warranty.

The Evactron Model 40 Zephyr provides pre-programmed automatic cleaning and is rack-mounted.

The Evactron Model 45 Zephyr features controls on the front panel and requires manual adjustments. This model is also rack-mounted.

GUI interface provided with both for PC communication with controllers.

  • Top of the line plasma cleaner: the most flexible system available with fully adjustable ignition and operating pressures. Starts during pumpdown and is safe for diffusion and turbo pump systems.
  • Low and high vacuum cleaning: clean samples in-situ in minutes at roughing pump pressures and cleans the chamber at turbo pump pressures.
  • Tabletop controller features easy one-button operation with repeatable, preset plasma conditions via encoder or external computer interface.
  • Uses energy efficient capacitive coupled plasma (CCP) and not wasteful inductive coupled plasma (ICP). Stays cool like a CFL (a CCP device) versus a hot tungsten filament bulb.
  • Dual action cleaning with both plasma and UV afterglow to desorb adventitious hydrocarbons and water vapor.
  • Non-damaging to sensitive components – no sputter etch or stripping.
  • Gas source is room air for ease of use and low operating cost.
  • Installation options: the Zephyr can be installed on the vacuum chamber or load lock.
  • Five year limited warranty: stringent manufacturing control leads to low failure rate and customer peace of mind.

Dual vacuum mode – TMP or roughing pump for in-situ cleaning of chambers and specimens in electron microscopes and vacuum chambers

For all your cleaning needs, the Evactron Zephyr includes a RF Plasma Radical Source (PRS), Table Top Controller/RF Generator with Automatic Pressure/RF Level Control, RS232 Computer Interface, Solid-state Micropirani Gauge, Cables, Instructions, and five-year limited warranty.

The Evactron Model 40 Zephyr provides pre-programmed automatic cleaning and is rack-mounted.

The Evactron Model 45 Zephyr features controls on the front panel and requires manual adjustments. This model is also rack-mounted.

GUI interface provided with both for PC communication with controllers.

  • Top of the line plasma cleaner: the most flexible system available with fully adjustable ignition and operating pressures. Starts during pumpdown and is safe for diffusion and turbo pump systems.
  • Low and high vacuum cleaning: clean samples in-situ in minutes at roughing pump pressures and cleans the chamber at turbo pump pressures.
  • Tabletop controller features easy one-button operation with repeatable, preset plasma conditions via encoder or external computer interface.
  • Uses energy efficient capacitive coupled plasma (CCP) and not wasteful inductive coupled plasma (ICP). Stays cool like a CFL (a CCP device) versus a hot tungsten filament bulb.
  • Dual action cleaning with both plasma and UV afterglow to desorb adventitious hydrocarbons and water vapor.
  • Non-damaging to sensitive components – no sputter etch or stripping.
  • Gas source is room air for ease of use and low operating cost.
  • Installation options: the Zephyr can be installed on the vacuum chamber or load lock.
  • Five year limited warranty: stringent manufacturing control leads to low failure rate and customer peace of mind.
recommend

Hai bisogno di maggiori informazioni?
Non esitare a contattarci compilando il modulo!

    Nome*

    Cognome*

    E-mail*

    Telefono*

    P.IVA

    Azienda

    Messaggio*

    Questo sito è protetto da Google reCAPTCHA e si applicano la privacy policy e i termini di servizio di Google.

    Gentile Utente, con la presente La informiamo che dati da lei forniti saranno trattati seguendo i principi di correttezza, liceità e trasparenza e di tutela della Sua riservatezza e dei Suoi diritti. In particolare: 1. I dati da Lei forniti verranno trattati esclusivamente per rispondere ai suoi quesiti. 2. I Suoi dati identificativi verranno trattati esclusivamente da nostri dipendenti, così come identificati nello specifico organigramma aziendale. Detto organigramma è a Sua disposizione in qualsiasi momento Lei intenda richiederlo. I dati non saranno oggetto di comunicazione e/o diffusione a soggetti esterni senza una Sua preventiva autorizzazione. 3. I Suoi dati verranno conservati nei nostri archivi per il tempo necessario a completare le Sue richieste. Il conferimento dei Suoi dati identificativi è ovviamente obbligatorio ed in loro assenza la nostra Azienda si troverà nell’impossibilità di rispondere alle sue richieste.

    recommend

    Hai bisogno di maggiori informazioni? Non esitare a contattarci compilando il modulo!

      Nome*

      Cognome*

      E-mail*

      Telefono*

      P.IVA

      Azienda

      Messaggio*

      Questo sito è protetto da Google reCAPTCHA e si applicano la privacy policy e i termini di servizio di Google.

      Gentile Utente, con la presente La informiamo che dati da lei forniti saranno trattati seguendo i principi di correttezza, liceità e trasparenza e di tutela della Sua riservatezza e dei Suoi diritti. In particolare: 1. I dati da Lei forniti verranno trattati esclusivamente per rispondere ai suoi quesiti. 2. I Suoi dati identificativi verranno trattati esclusivamente da nostri dipendenti, così come identificati nello specifico organigramma aziendale. Detto organigramma è a Sua disposizione in qualsiasi momento Lei intenda richiederlo. I dati non saranno oggetto di comunicazione e/o diffusione a soggetti esterni senza una Sua preventiva autorizzazione. 3. I Suoi dati verranno conservati nei nostri archivi per il tempo necessario a completare le Sue richieste. Il conferimento dei Suoi dati identificativi è ovviamente obbligatorio ed in loro assenza la nostra Azienda si troverà nell’impossibilità di rispondere alle sue richieste.

      keyboard_arrow_up