La spettrometria di massa a scarica consiste in un plasma generato dall’applicazione di una tensione elettrica tra due elettrodi metallici tramite un gas a bassa pressione. Quando il gas viene ionizzato inciderà sul catodo (campione) estrenda da esso materiale, a sua volta ionizzato e analizzato dallo spettrometro di massa. E’ possibile condurre analisi di bulk e profili isotopici in profondità.
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