UHR FE-SEM FIB SOLARIS X

Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Plasma di Xenon

UHR FE-SEM FIB SOLARIS X

Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Plasma di Xenon

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazioni di sezioni ampie e profonde.

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazioni di sezioni ampie e profonde.

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazioni di sezioni ampie e profonde e per applicazioni avanzate di end-pointing per l’analisi dei fallimenti delle strutture di packaging di dispositivi a semiconduttore sia di tipo micromeccanico che optoelettronico.

La colonna al plasma di Xe consente di esporre superfici perfettamente lucide e prive di contaminazioni al Gallio e senza alcun tipo di danneggiamento meccanico indotto, come invece possibile con l’utilizzo di tecniche tradizionali di lucidatura.

Le caratteristiche principali della serie SOLARIS X sono:

  • Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
  • Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
  • Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
  • Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
  • Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
  • Colonna Ionica iFIB+TM al gas di Xenon
  • Risoluzione: <15 nm @ 30kV
  • Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
  • Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X
  • Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
  • Decontaminatore al Plasma integrato

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazioni di sezioni ampie e profonde e per applicazioni avanzate di end-pointing per l’analisi dei fallimenti delle strutture di packaging di dispositivi a semiconduttore sia di tipo micromeccanico che optoelettronico.

La colonna al plasma di Xe consente di esporre superfici perfettamente lucide e prive di contaminazioni al Gallio e senza alcun tipo di danneggiamento meccanico indotto, come invece possibile con l’utilizzo di tecniche tradizionali di lucidatura.

Le caratteristiche principali della serie SOLARIS X sono:

  • Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
  • Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
  • Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
  • Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
  • Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
  • Colonna Ionica iFIB+TM al gas di Xenon
  • Risoluzione: <15 nm @ 30kV
  • Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
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  • Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
  • Decontaminatore al Plasma integrato
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