Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS X è la soluzione tecnologica ideale per la realizzazioni di sezioni ampie e profonde e per applicazioni avanzate di end-pointing per l’analisi dei fallimenti delle strutture di packaging di dispositivi a semiconduttore sia di tipo micromeccanico che optoelettronico.
La colonna al plasma di Xe consente di esporre superfici perfettamente lucide e prive di contaminazioni al Gallio e senza alcun tipo di danneggiamento meccanico indotto, come invece possibile con l’utilizzo di tecniche tradizionali di lucidatura.