UHR FE-SEM FIB SOLARIS

Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Gallio

UHR FE-SEM FIB SOLARIS

Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Gallio

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS  rappresenta la piattaforma di lavoro ideale per applicazioni di nanofabbricazione avanzata.

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS  rappresenta la piattaforma di lavoro ideale per applicazioni di nanofabbricazione avanzata.

Il sistema infatti utilizza sia la colonna ionica OrageTM al Ga, la più precisa e ad alta risoluzione attualmente disponibile, sia la colonna elettronica TriglavTM di ultra alta risoluzione.

Le caratteristiche tecniche di queste due colonne permettono il raggiungimento delle più elevate risoluzioni possibili richieste nei processi di prototipazione di dispositivi nanometrici e la fabbricazione di lamelle TEM di spessori estremamente sottili, fino a 10nm.

Le caratteristiche principali della serie SOLARIS sono:

  • Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
  • Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
  • Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
  • Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
  • Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
  • Colonna Ionica OrageTM con sorgente LMIS
  • Risoluzione: 2,5 nm @ 30kV
  • Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
  • Ingrandimenti: da 1 X a 1.000.000 X
  • Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
  • Decontaminatore al Plasma integrato

Il sistema infatti utilizza sia la colonna ionica OrageTM al Ga, la più precisa e ad alta risoluzione attualmente disponibile, sia la colonna elettronica TriglavTM di ultra alta risoluzione.

Le caratteristiche tecniche di queste due colonne permettono il raggiungimento delle più elevate risoluzioni possibili richieste nei processi di prototipazione di dispositivi nanometrici e la fabbricazione di lamelle TEM di spessori estremamente sottili, fino a 10nm.

Le caratteristiche principali della serie SOLARIS sono:

  • Colonna elettronica TriglavTM UHR-SEM
  • Tipologia emettitore: di tipo Schottky termoassistita
  • Risoluzione: 0,6 nm @ 15kV – 1,2 nm @ 1 kV
  • Corrente di sonda: da 2 pA a 400 nA
  • Rivelatori standard: ET-SE, BSE, Multidetector, Axial Detector
  • Colonna Ionica OrageTM con sorgente LMIS
  • Risoluzione: 2,5 nm @ 30kV
  • Tavolino portacampioni motorizzato su 5 assi
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  • Software di Gestione EssenceTM con 3D Collision Model
  • Decontaminatore al Plasma integrato
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