UHR FE-SEM FIB SOLARIS

Sistemi UHR FE-SEM FIB con Colonna Ionica al Gallio

UHR FE-SEM FIB SOLARIS

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Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS  rappresenta la piattaforma di lavoro ideale per applicazioni di nanofabbricazione avanzata.

Il nuovo UHR FE-SEM FIB TESCAN SOLARIS  rappresenta la piattaforma di lavoro ideale per applicazioni di nanofabbricazione avanzata.

Il sistema infatti utilizza sia la colonna ionica OrageTM al Ga, la più precisa e ad alta risoluzione attualmente disponibile, sia la colonna elettronica TriglavTM di ultra alta risoluzione.

Le caratteristiche tecniche di queste due colonne permettono il raggiungimento delle più elevate risoluzioni possibili richieste nei processi di prototipazione di dispositivi nanometrici e la fabbricazione di lamelle TEM di spessori estremamente sottili, fino a 10nm.

Il sistema infatti utilizza sia la colonna ionica OrageTM al Ga, la più precisa e ad alta risoluzione attualmente disponibile, sia la colonna elettronica TriglavTM di ultra alta risoluzione.

Le caratteristiche tecniche di queste due colonne permettono il raggiungimento delle più elevate risoluzioni possibili richieste nei processi di prototipazione di dispositivi nanometrici e la fabbricazione di lamelle TEM di spessori estremamente sottili, fino a 10nm.

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